更新日: 2022年06月21日

X線光電子分光分析装置(XPS-Nexsa)

特徴

深さ方向の分析が可能 極表面分析に適

機種

ThermoFisherScientific Nexsa

カテゴリー:

料金

使用料金:

¥8,000円(1時間あたり)

研究員による支援 3,900円/時
操作法説明 3,900円/時
時間外の機器利用料は2割増となります。

施設機器の利用制限

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説明

用途

  • ナノレベルの表面分析
  • 3 Liから92 Uまでの元素分析
  • 深さ方向分析が可能
  • 角度分解測定が可能
  • Ar単原子 または Arガスクラスターイオン(サイズ:Ar75+~Ar2000+)によるエッチング
  • 紫外光電子分光(UPS)も可能

【サンプルについて】

  • 60mm×60mm以内で高さ20mm以内の固体(粉体,繊維も可。ただし,多孔体や有機物は予備真空引き時間がかさむ場合があります。)
  • 試料前処理:なし(場合によって,予備真空引き)

スペック・付属品等

  • 分析領域:最小10μm~最大400μm(幅5μm毎)
  • 分析元素:3Li~92U
  • 標準エックス線源:Al(Kーalpha)
  • 最高感度:4,000,000 cps@1.0 eV(Ag3d5/2)
  • 最高エネルギー分解能:0.5 eV (Ag3d5/2)
  • OS:Windows 10

分析事例

注意事項

ご利用申し込みは実施日の3日前まで可能です。 月曜及び金曜日の開放利用には,試験利用に伴う制限がかかる場合があります。お問い合わせください。

その他の料金

研究員による支援 3,900 円 / 時

解析の支援・指導

 例)元素の定性、深さ方向分析・全反射、測定のスペクトル評価ほか
  操作法説明: 7,800 円 (2時間)

依頼書

研究員による支援や試験依頼の際にご利用ください
【分析依頼】: サーベイスキャン 14,700 円 / 件
※サーベイスキャン1件の内訳
  • ワイドスキャン:エネルギー範囲:0eV~1350eV,パスエネルギー200eV,エネルギーステップサイズ1ev,スキャン回数1回 dwell time 50ms,ソフトによる自動解析
  • ナロースキャンまたはUPSの場合も1件とカウントします。その場合は,事前に測定元素を指定願います。ナロースキャンまたはUPS単独の試験は承りかねます。必ずワイドスキャンとセットでご依頼ください。

【分析依頼】: 粗マッピング 14,700 円 / 件

  • 1元素1件。自動分析ソフトSnapMap上で元素を周期表で指定し,マッピングを行います。(3mm×3mmまで)

【分析依頼】前処理(エッチング)

  • 単アルゴンによるエッチング(エネルギー500eV以下 10秒以下) 1件 1,100円
(参考エッチングレート(対Ta2O5膜 (nm/sec))及び料金倍率)
料金倍率
eV 低電流 高電流
4000 3.05 8.62
3000 2.56 7.96
2000 2.20 6.23
1000 1.42 4.33
標準 500 0.42 1.20
300 0.12 0.36
※標準以上を指定の際は,指定倍率に応じた件数となります。

例1)2000eV,高電流,5秒エッチングを指定の場合

4(eV倍率)×2(高電流倍率)×1(10秒まで1件)=8件 8,800円

例2)1000eV,低電流,25秒エッチングを指定の場合

2(eV倍率)×1(高電流倍率)×3(10秒まで1件 3件)=6件 6,600円
【分析依頼】前処理
  • アルゴンクラスターによるエッチング(クラスター500分子以下 10秒 エネルギー2000eV) 1件 1,300円
選択できるアルゴンクラスターサイズとエネルギー
倍率 クラスターサイズ(個) 倍率 eV
8000
2000 6000
1000 4000
標準 500 標準 2000
300
150
75
※標準以上を指定の際は,指定倍率に応じた件数となります。

例1)Ar2000個,6000eV,30秒エッチングを指定の場合

4(クラスター倍率)×3(eV倍率)×3(10秒まで1件 3件)=36件 46,800円

例2)Ar75個,4000eV,55秒エッチングを指定の場合

1(クラスター倍率)×2(eV倍率)×6(10秒まで1件 6件)=12件 15,600円

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