説明
用途
- ナノレベルの表面分析
- 3 Liから92 Uまでの元素分析
- 深さ方向分析が可能
- 角度分解測定が可能
- Ar単原子 または Arガスクラスターイオン（サイズ：Ar75+～Ar2000+）によるエッチング
- 紫外光電子分光(UPS)も可能
【サンプルについて】
- 60mm×60mm以内で高さ20mm以内の固体（粉体，繊維も可。ただし，多孔体や有機物は予備真空引き時間がかさむ場合があります。）
- 試料前処理：なし（場合によって，予備真空引き）
- 表面汚れをArクラスター照射で除去することも可能
スペック・付属品等
- 分析領域:最小10μm～最大400μm（幅5μm毎)
- 分析元素:3Li～92U
- 標準エックス線源:Al(Kｰalpha)
- 最高感度：4,000,000 cps@1.0 eV(Ag3d5/2)
- 最高エネルギー分解能：0.5 eV (Ag3d5/2)
- OS:Windows 10
- XPSエッチングレート_ver1.0
- 測定時間の目安：ワイドスキャン（積算5回）1回：15分
- 測定時間の目安：ナロースキャン（積算5回）1元素：3分
X線光電子分光分析装置（XPS-Nexsa） の紹介(Youtube)
分析事例
- XPS分析事例-1 加湿器中のカルキ表面の分析
- XPS分析事例-2 金属粉末の表面分析
- XPS分析事例-3 単Arエッチングによる深さ方向分析
- XPS分析事例-4 角度分解による表面分析
- XPS分析事例-5 アルゴンクラスター銃の効果
- XPS分析事例-6 深さ方向分析(Ag膜)
注意事項
ご利用申し込みは実施日の3日前まで可能です。 月曜及び金曜日の開放利用には，試験利用に伴う制限がかかる場合があります。お問い合わせください。
その他の料金
研究員による支援 3,900 円 / 時
解析の支援・指導
例）元素の定性、深さ方向分析・全反射、測定のスペクトル評価ほか
操作法説明： 7,800 円 （2時間）
依頼書
研究員による支援や試験依頼の際にご利用ください
【分析依頼】： サーベイスキャン 14,700 円 / 件
※サーベイスキャン1件の内訳
- ワイドスキャン：エネルギー範囲:0eV～1350eV,パスエネルギー200eV,エネルギーステップサイズ1ev,スキャン回数1回 dwell time 50ms，ソフトによる自動解析
- ナロースキャンまたはUPSの場合も1件とカウントします。その場合は，事前に測定元素を指定願います。ナロースキャンまたはUPS単独の試験は承りかねます。必ずワイドスキャンとセットでご依頼ください。
【分析依頼】： 粗マッピング 14,700 円 / 件
- 1元素1件。自動分析ソフトSnapMap上で元素を周期表で指定し，マッピングを行います。(3mm×3mmまで)
【分析依頼】前処理（エッチング）
- 単アルゴンによるエッチング（エネルギー500eV以下 10秒以下） 1件 1,100円
（参考エッチングレート(対Ta2O5膜 (nm/sec)）及び料金倍率）
| 料金倍率 | 1× | 2× | |
| eV | 低電流 | 高電流 | |
| 8× | 4000 | 3.05 | 8.62 |
| 6× | 3000 | 2.56 | 7.96 |
| 4× | 2000 | 2.20 | 6.23 |
| 2× | 1000 | 1.42 | 4.33 |
| 標準 | 500 | 0.42 | 1.20 |
| 1× | 300 | 0.12 | 0.36 |
※標準以上を指定の際は，指定倍率に応じた件数となります。
例1）2000eV，高電流，5秒エッチングを指定の場合
4(eV倍率)×2(高電流倍率)×1(10秒まで1件)=8件 8,800円
例2）1000eV，低電流，25秒エッチングを指定の場合
2(eV倍率)×1(高電流倍率)×3(10秒まで1件 3件)=6件 6,600円
【分析依頼】前処理
- アルゴンクラスターによるエッチング（クラスター500分子以下 10秒 エネルギー2000eV） 1件 1,300円
選択できるアルゴンクラスターサイズとエネルギー
| 倍率 | クラスターサイズ(個) | 倍率 | eV |
| ／ | ／ | 4× | 8000 |
| 4× | 2000 | 3× | 6000 |
| 2× | 1000 | 2× | 4000 |
| 標準 | 500 | 標準 | 2000 |
| 1× | 300 | ／ | ／ |
| 1× | 150 | ／ | ／ |
| 1× | 75 | ／ | ／ |
※標準以上を指定の際は，指定倍率に応じた件数となります。
例1）Ar2000個，6000eV，30秒エッチングを指定の場合
4(クラスター倍率)×3(eV倍率)×3(10秒まで1件 3件)=36件 46,800円
例2）Ar75個，4000eV，55秒エッチングを指定の場合
1(クラスター倍率)×2(eV倍率)×6(10秒まで1件 6件)=12件 15,600円
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