マイクロ波プローバ

説明

用途

• マイクロ波領域（DC～40GHz）における伝送回路部品等の電気特性評価用治具

スペック・付属品等

• X-Yステージ　　　　 （Travel X-Y stage）   ：±50mm可動（±50mm）
• Ｚステージ　　　　　（Travel Z stage）　  ：10mm可動（10mm）
• θローテーション　　 （θmotion） 　　　   ：360度回転（360°）
• チャックトップ　　　（Chuck top size）　 ：φ100mm（φ100mm）
• ポジショナー　　　　（Micro-positioner） ：MODEL 600MRF 2台（MODEL 600MRF×2）
• マイクロ波プローブ　（RF probe） 　　　  ：MODEL 40A 2個（DC～40GHz）（MODEL 40A×2）
• バキュームポンプ　　（Vaccum pump） 　 ：試料吸着用
• 顕微鏡　　　　　　　（Microscope）　　   ：オリンパス社製SZ40 蛍光照明使用（Olympus SZ40）
• 校正用基板　　　　　（Calibration kit ） 　 ：プローブ配列GSGまたはGS,SG用（for RF probe）