表面粗さ・形状測定機

説明

用途

• 表面粗さ測定
• 二次元形状測定、三次元形状測定
• 円筒物直径　他

スペック・付属品等

• 測定方式：接触式（スタイラス走査式）
• スタイラス
  • ダイヤモンド円錐スタイラス（先端＝2[μmR]、円錐角＝60°、有効長L100ｍｍ）
  • ダイヤモンド円錐スタイラス（先端＝2[μmR]、円錐角＝60°、有効長L200ｍｍ）
  • ミニチュアボアダイヤモンド円錐スタイラス（先端＝2[μmR]、円錐角＝60°、有効長L100ｍｍ、シャンクスクリアランス0.2mm以上0.7mm以下）
• 測定範囲
  • X方向：200[mm]
  • Y方向：100[mm]（Y軸テーブル使用時）
  • Z方向：15[mm]（100mmスタイラス使用時）
• 分解能
  • X方向：0.025[μm]
  • Y方向：0.1[μm]
  • Z方向：0.3[nm]
• 接触圧：30～225[mgf]まで可変（標準75[mgf]）
• 耐荷重：10[kg]（回転テーブル上）
• 測定対象物の最大寸法（回転テーブル上）：直径150mm程度、高さ（Z方向）200mm程度
• 解析機能：断面形状（距離、角度、曲率半径）、粗さ、うねり
• 保存形式：専用形式、テキスト形式、PDF形式
• 記録媒体：フラッシュメモリ