更新日: 2022年03月07日

超精密非接触三次元形状評価装置

特徴

工具の摩耗前後で差分解析をすることができます。

機種

アリコナイメージング
INFINITE FOCUS G4

超精密非接触三次元形状評価装置

カテゴリー:

料金

使用料金:

¥500円(1時間あたり)

研究員による支援 3,900円/時
操作法説明 3,900円/時
時間外の機器利用料は2割増となります。

施設機器の利用制限

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説明

用途

  • 三次元形状測定
  • 断面形状解析(寸法・角度・曲率半径など)
  • 工具摩耗の差分解析

スペック・付属品等

  • 寸法上限:幅300[mm]×奥行300[mm]×高150[mm]
  • 積載上限:20[kg]
  • 水平分解能:5.6[μm]~0.4[μm]
  • 垂直分解能:47,100[nm]~10[nm]

※鏡面や透明なサンプルの測定はできません。

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