説明
用途
- 接触式では対応困難な下記サンプルの、点・断面・三次元形状測定
- 接触による変形が著しい薄肉部品
- 傷を嫌う鏡面
- 微細形状
※急峻な斜面ではレーザースポット形状の変形による測定誤差が生じる場合があります。
- 非球面形状評価や画像処理測定
- 簡易な形状解析（溝幅、溝高さ、 円弧半径値など）
スペック・付属品等
- 寸法上限：幅150[mm]×奥行150[mm]×高105[mm]
- 積載上限： 6[kg]
- 測定範囲
- X，Y：150[mm]
- Z（電動ステージ）：105[mm]
- Z（オートフォーカス駆動範囲）：10[mm]
- 測定分解能
- X，Y：0.01[μm]
- Z（電動ステージ駆動時）：0.1[μm]
- Z（オートフォーカス駆動範囲内）：0.001[μm]
- 測定精度
- X，Y：（0.5+2.5L/150）[μm]
- Z（電動ステージ駆動時）：（1.0+3.0L/105）[μm]
- Z（オートフォーカス駆動範囲内）：（0.1+0.3L/10）[μm]
※L は測定長さ[mm]
- 対物レンズ：10倍、50倍、100倍
- OS：Windows2000
- データ出力
- 記録メディア：紙、USBメモリ
- 保存形式：専用形式、Excel互換
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