更新日: 2022年03月23日

非接触三次元平面度測定機

特徴

シリコンウェハのような鏡面平坦部品の、平面度測定に適しています。

機種

WYCO
RTI4100

カテゴリー:

料金

使用料金:

¥550円(1時間あたり)

研究員による支援 3,900円/時
操作法説明 3,900円/時
時間外の機器利用料は2割増となります。

施設機器の利用制限

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説明

用途

  • 平面度測定

スペック・付属品等

  • 測定精度:λ/200
  • 分解能:λ/12000

※λ=632.8[nm](He-Neレーザ)

  • 測定範囲:φ100[mm]
  • 測定画素数:736×480
  • ズーム機能:1~7倍

平成15年度 日本自転車振興会 (現:公益財団法人JKA) 補助
JKA

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