説明
用途
- SEM による内部構造の積層形状、膜厚評価、結晶状態のための試料前処理に。
スペック・付属品等
- 使用ガスAr (アルゴン)ガス
- 加速電圧 0.6kV
- 最大ミリングレート(材料Si 500μm/ hr)
- 試料移動範囲 断面加工時 X 7mm 、 Y0 ~~+3mm
- 冷却温度調整機能 間接試料冷却、温度設定範囲 0℃~100℃
更新日: 2022年03月23日
日立ハイテクノロジーズ IM4000PLUS
¥1,300円(1時間あたり)
研究員による支援 3,900円/時 操作法説明 3,900円/時 時間外の機器利用料は2割増となります。 |