説明
用途
- SEM による内部構造の積層形状、膜厚評価、結晶状態のための試料前処理に。
スペック・付属品等
- 使用ガスAr （アルゴン）ガス
- 加速電圧 0.6kV
- 最大ミリングレート（材料Si 500μm/ hr）
- 試料移動範囲 断面加工時 X 7mm 、 Y0 ～～+3mm
- 冷却温度調整機能 間接試料冷却、温度設定範囲 0℃～100℃
更新日: 2022年03月23日
イオン研磨装置
特徴
- 硬度の異なる複合材料でも平滑にイオンミリング可能
- 加工条件（加速電圧、スイング角度）の最適化でダメージ軽減
- 平面ミリングが可能
機種
日立ハイテクノロジーズ IM4000PLUS
料金
使用料金：¥1,300円（1時間あたり）
| 研究員による支援 3,900円/時 操作法説明 3,900円/時 時間外の機器利用料は2割増となります。 |
施設機器の利用制限
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