更新日: 2022年03月23日

イオン研磨装置

特徴

  • 硬度の異なる複合材料でも平滑にイオンミリング可能
  • 加工条件(加速電圧、スイング角度)の最適化でダメージ軽減
  • 平面ミリングが可能

機種

日立ハイテクノロジーズ IM4000PLUS

イオン研磨装置

カテゴリー:

料金

使用料金:

¥1,300円(1時間あたり)

研究員による支援 3,900円/時
操作法説明 3,900円/時
時間外の機器利用料は2割増となります。

施設機器の利用制限

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説明

用途

  • SEM による内部構造の積層形状、膜厚評価、結晶状態のための試料前処理に。

スペック・付属品等

  • 使用ガスAr (アルゴン)ガス
  • 加速電圧 0.6kV
  • 最大ミリングレート(材料Si 500μm/ hr)
  • 試料移動範囲 断面加工時 X 7mm 、 Y0 ~~+3mm
  • 冷却温度調整機能 間接試料冷却、温度設定範囲 0℃~100℃

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