説明
用途
材料の微視的観察,元素定性分析,構造解析
【サンプルについて】
- 真空中でガスや液体を放出しないもの
- 設置上限サイズφ200mm×高さ80mm
(観察可能領域 中央部φ71mm)
スペック・付属品等
- 分解能:二次電子像1.2nm(30kV,WD5mm)
- 電子銃 : ZrO/Wショットキー
- 加速電圧 0.5~30kV
(リターディング使用時0.1kV可能) - 検出器:二次電子検出器(高真空Lower,Top/低真空),反射電子検出器
- 分析元素:Be~Am(分解能128eV)
更新日: 2023年04月01日
日立ハイテクノロジーズ
SU5000+EDAX Pegasus EDS/EBSP
¥4,500円(1時間あたり)
研究員による支援 3,900円/時 操作法説明 3,900円/時 時間外の機器利用料は2割増となります。 |
材料の微視的観察,元素定性分析,構造解析
【サンプルについて】