説明
用途
材料の微視的観察，元素定性分析
【サンプルについて】
- 真空中で著しい量のガスを放出しないもの
- 設置上限サイズφ80mm×高さ50mm
（試料可動範囲 X40mm Y35mm）
スペック・付属品等
- 分解能：写真倍率10倍～100,000倍
- 加速電圧 5kV、10kV、15kV、20kV
- 画像信号：反射電子、二次電子（帯電低減モード時のみ）
- 分析元素：B～Cf(分解能MnKα<129eV @50,000cps）
- STEMホルダー
更新日: 2026年04月01日
卓上低真空SEM
特徴
- 帯電低減モード（低真空）に切替可能
- 元素分析，線分析，元素マッピングが可能
機種
日立ハイテクノロジーズ
TM4000plusⅢ+OXFORD AztecLiveOne XploreCompact30
2025年度購入
料金
使用料金：¥3,000円（1時間あたり）
| 研究員による支援 4,000円/時 操作法説明 4,000円/時 時間外の機器利用料は2割増となります。 |
施設機器の利用制限
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