説明
用途
- レーザー光の走査により、試料の表面形状を観察・測定できる装置です。
- 測定結果は3D表示して解析することができます。
主な仕様
- 光源:半導体レーザー(λ=408 nm)
- 検鏡方法：レーザー，レーザー微分干渉，明視野，微分干渉
- 対物レンズ：5 倍，10 倍，20 倍，50 倍，100 倍
- 観察倍率：120～14400 倍
- 観察範囲：2560×2560 μm2(対物レンズ5 倍)
- 128×128 μm2(対物レンズ100 倍)
試料について
- 高さ上限：70mm
- 重量上限：10kg
データ出力
- 記録メディア USB，FD
- 保存形式 画像（JPEG 他），専用形式
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