更新日: 2022年04月01日

サブミクロン三次元X線顕微鏡(XRM)

特徴

  • マイクロメートル以下の空間分解能で,試料内部の形状観察や欠陥・異物の可視化が可能
  • 特性X線を用いた高コントラスト撮影
  • 試料温度の調整や圧縮・引張り荷重の印加が可能

機種

株式会社リガク
nano3DX

カテゴリー:

料金

使用料金:

¥5,500円(1時間あたり)

研究員による支援 3,900円/時
操作法説明 3,900円/時
時間外の機器利用料は2割増となります。

施設機器の利用制限

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説明

用途

  • 非破壊内部観察

スペック・付属品等

  • ターゲット:Cu,Mo,Cr,W
  • 試料温度の調整範囲:-150 ~ 200 ℃
  • 印加可能な荷重:0 ~ 200 N(圧縮・引張りとも)

試料サイズについて

  • 高分解能観察には,できるかぎり試料径を小さくすることが重要です。
  • 識別したいサイズ×500 が試料サイズの目安です。(例)2 μmの異物を判別したいとき… 2(μm)×500=1000(μm)
  • 詳細はご相談ください。

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