説明
用途
- 工具欠け部の形状観察，測定
- コーティング膜や異物の元素分析
スペック・付属品等
- 観察モード：高真空
- 観察像：二次電子像
- 加速電圧：0.5～20kV
- 観察範囲：9×7mm～1.3×1μm
- 最大試料サイズ：φ64mm
- 3D計測機能：試料任意区間プロファイル計測
- 検出可能元素：Be～Am
更新日: 2021年11月09日
工具評価用電子顕微鏡
特徴
- 簡易な操作で微小部の形状観察，測定が可能
- 15～10,000倍程度まで拡大可能（サンプルによります）
- EDX検出器による元素分析，元素マッピングが可能
機種
キーエンス VE-8800
EDAX EDX APPOLO XPP
料金
使用料金：¥1,100円（1時間あたり）
| 研究員による支援 3,900円/時 操作法説明 3,900円/時 時間外の機器利用料は2割増となります。 |
施設機器の利用制限
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