説明
用途
- 高倍率の形態観察
- 元素分析（定性・定量）
測定試料（サンプル）について
- 導電性を有すること
- 導電性の悪いサンプルには、導電性コーティングを行うこと
- 寸法上限：φ36mm×h 20mm
このほか、真空中への投入や電子ビーム照射による揮発成分があるもの、変形するもの等は不適です。
主な仕様
- 実用観察倍率:40～20,000 倍程度
- 電界放出型電子銃(フィールドエミッション:FE)
- 加速電圧:1～30 kV
- 分析元素:5B～92U
データ出力
- 記録メディア USB
- 保存形式 画像（BMP他），テキスト形式
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