説明
用途
- 高倍率の形態観察
- 元素分析(定性・定量)
測定試料(サンプル)について
- 導電性を有すること
- 導電性の悪いサンプルには、導電性コーティングを行うこと
- 寸法上限:φ36mm×h 20mm
このほか、真空中への投入や電子ビーム照射による揮発成分があるもの、変形するもの等は不適です。
主な仕様
- 実用観察倍率:40~20,000 倍程度
- 電界放出型電子銃(フィールドエミッション:FE)
- 加速電圧:1~30 kV
- 分析元素:5B~92U
データ出力
- 記録メディア USB
- 保存形式 画像(BMP他),テキスト形式