更新日: 2021年07月16日

走査型電子顕微鏡

特徴

  • 高真空/低真空モード切替可能
  • 大口径70mm2シリコンナイトライドSDD検出器
  • 元素分析,線分析,元素マッピングが可能
  • EBSPによる結晶方位解析が可能

機種

日立ハイテクノロジーズ

SU5000+EDAX Pegasus EDS/EBSP

走査型電子顕微鏡 (FE-SEM/EDX)

カテゴリー:

料金

使用料金:

¥4,000円(1時間あたり)

研究員による支援 3,900円/時
操作法説明 3,900円/時
時間外の機器利用料は2割増となります。

施設機器の利用制限

---

説明

用途

材料の微視的観察,元素定性分析,構造解析

【サンプルについて】

  • 真空中でガスや液体を放出しないもの
  • 設置上限サイズφ200mm×高さ80mm
    (観察可能領域 中央部φ71mm)

スペック・付属品等

  • 分解能:二次電子像1.2nm(30kV,WD5mm)
  • 電子銃 : ZrO/Wショットキー
  • 加速電圧 0.5~30kV
    (リターディング使用時0.1kV可能)
  • 検出器:二次電子検出器(高真空Lower,Top/低真空),反射電子検出器
  • 分析元素:Be~Am(分解能128eV)

QRコード

QR Code
印刷