説明
用途
材料の微視的観察，元素定性分析，構造解析
【サンプルについて】
- 真空中でガスや液体を放出しないもの
- 設置上限サイズφ200mm×高さ80mm
（観察可能領域 中央部φ71mm）
スペック・付属品等
- 分解能：二次電子像1.2nm(30kV,WD5mm)
- 電子銃 ： ZrO/Wショットキー
- 加速電圧 0.5～30kV
(リターディング使用時0.1kV可能) - 検出器：二次電子検出器（高真空Lower，Top/低真空），反射電子検出器
- 分析元素：Be～Am(分解能128eV）
更新日: 2023年04月01日
走査型電子顕微鏡
特徴
- 高真空/低真空モード切替可能
- 大口径70mm2シリコンナイトライドSDD検出器
- 元素分析，線分析，元素マッピングが可能
- EBSPによる結晶方位解析が可能
機種
日立ハイテクノロジーズ
SU5000+EDAX Pegasus EDS/EBSP
料金
使用料金：¥4,500円（1時間あたり）
| 研究員による支援 3,900円/時 操作法説明 3,900円/時 時間外の機器利用料は2割増となります。 |
施設機器の利用制限
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