顕微鏡式薄膜測定装置

説明

用途

• 透明な薄膜（酸化膜，窒化膜，フォトレジストなど）の膜厚測定

スペック・付属品等

• 分光波長範囲:400〜850 nm
• 分光器の形式:1024 素子CCD付固定型
• Czerny-Tuner形分光器
• 膜厚測定精度:±1 nm(500 nm測定時)
• 膜厚測定範囲:〜20 μm(×5)
• 〜15 μm(×10)
• 〜 2 μm(×50)