更新日: 2021年11月11日

触針式段差計

特徴

高精度な表面の凹凸測定

機種

テンコール・インスツルメンツ・ジャパン
ALPHA STEP 500

カテゴリー:

料金

使用料金:

¥650円(1時間あたり)

研究員による支援 3,900円/時
操作法説明 3,900円/時
時間外の機器利用料は2割増となります。

施設機器の利用制限

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説明

用途

  • 基板上の段差や表面形状の測定

スペック・付属品等

  • スキャン長MAX10 mm
  • スキャンスピード2 μm/sec〜25 mm/sec
  • スキャン方式 ステージ固定 スタイラス駆動
  • サンプルサイズ MAX158 mm×158 mm

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